1、銀銅鈦活性釬料

 采用先進真空氣霧化制粉工藝和熔煉技術，精確控制Ti含量，氧含量小于200ppm，粉末粒度可控，釬焊性能優異，產品和技術可達到國內先進水平。

2、刻蝕工藝腔用高純致密氧化釔涂層

采用先進粉末制備工藝和先進涂層技術研制適用于刻蝕機工藝腔內表面用防腐涂層，可以提高和改善刻蝕機工藝腔內表面耐大功率等離子體的侵蝕性能，延長使用壽命。該產品已實現高純Y2O3粉末的進口替代和低成本；刻蝕機工藝腔內表面用耐腐蝕涂層性能優異，滿足高性能刻蝕機使用要求。項目產品和技術可達到國內先進水平。

SEM圖像                       （a）粉體                                                                                               （b）涂層